广州潽拓光电科技有限公司——2KGAgilent分子泵维修硬件升级
滑阀式真空泵市场
国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。
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2KGAgilent分子泵维修硬件升级
广州潽拓光电科技有限公司——2KGAgilent分子泵维修硬件升级
滑阀式真空泵市场
国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。
广州潽拓光电科技有限公司——2KGAgilent分子泵维修硬件升级维修问题
分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要仪器和特定的测试环境
分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是佳方式?
答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
答:原因:电压低
罗茨真空泵市场
从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场,这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。另外,还要考虑到有些和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性
分子泵叶片破碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。
③、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。
⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。
安捷伦提供稳定的出色涡轮分子泵系统,在实验室和工业等广泛应用中均能提供的真空环境。我们的涡轮分子泵解决方案配备抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列涡轮分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前级干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能压力读数真空计。此类解决方案采用设计,利用可配置的或一体化的平台(包括小型 TPS、台式机组、DIY 系统和移动式解决方案)满足您的所有需求。
安捷伦Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中,包括电子显微镜(SEM,TEM),聚焦离子束系统(FIB)和表面分析现代聚焦光束系统,如SEM,TEM和FIB利用将电子或离子投射到显微样品上的色谱柱进行详细分析。zui终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业,它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量,以降低这些仪器的拥有成本。

安捷伦真空对电子显微镜之类的聚束系统真空应用有着非常丰富的经验,为了满足SEM、TEM系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求,开发了一系列的产品。
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