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粗糙和轮廓测量仪器方法

传统的接触式1、比较法： 比较法是车间常用的方法将被测表面对照粗糙度样板，用手摸靠感觉来判断被加工表面的粗糙度;也可用肉眼或借助于放大镜比较显微镜比较比较法一般只用于粗糙度评定参数值较大的情况下，而且容易产生较大的误差。2、印模法：利用某些塑性材料作块状印模，贴合在被测表面上，取下后在印模上存有被测表面的轮廓形状，然后对印模的表面进行测量，得出原来零件的表面精糙度对于某些大型零件的内表面不便使用仪器测量，可用印模法来间接测量，但这种方法的测量精度不高且过程繁琐。

粗糙和轮廓测量仪器散斑法

激光散粗糙和轮廓测量仪器班图一般反映了被激光照射表面的微观结构情况，但要从中直接得出表面参数的信息是非常困难的，特别在用单色光照明粗糙表面时，由于非常粗糙表面所形成的散斑并不完全由粗糙度决定，因此用散斑测量表面粗糙度时，只在一定的范围内合适在某些情况下，由于表面过于光滑而无法用电子散斑干涉仪进行测量，而有时也有可能由于表面过于粗糙而无法测量，故此时可用银灰色的喷漆作为辅助手段，其形状差条纹的灵敏度可高达10μm。

粗糙和轮廓测量仪器像散测定法

其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时，则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py，Qy，Sy以后光束便发散由于X轴，Y轴方向上成像位置的不同，光束成椭圆状，如图4所示，故光点远离物镜时，则为长轴在Y轴上的椭圆;相反，靠近物镜时，则为长轴在X轴上的椭圆，用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器，光束经光电转换后再放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号，这种方法分辨力可达到纳米级别，但测量范围较小。