高温大压力传感器研究现状一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1,2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，会由于内部PN结出现漏电而导致传
VPVT-A3-30MPaS-5传感器
高温大压力传感器研究现状
一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。
近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1,2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，会由于内部PN结出现漏电而导致传感器性能急剧下降，进而导致失效[3,4,5,6]。因此，如何把MEMS技术的优势和现有的技术相结合，通过改进工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服MEMS传感器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成的新型敏感元件纷纷问世。
压力传感器如何选型
1.频率响应特性
压力传感器的频率响应特性决定了要测量的频率范围，测量条件须保持在允许的频率范围内而不失真。事实上，传感器的响应总是有一个固定的延迟，并且希望延迟时间越短越好。压力传感器的频率响应高，可测信号的频率范围宽，并且由于结构特性的影响，机械系统的惯量大，可测信号的频率是由于传感器的低频。在动态测量中，响应特性应根据信号的特性(稳态、瞬态、随机等)来确定，以避免误差过大。
2.稳定
传感器在使用一段时间后保持其性能不变的能力称为稳定性。除了传感器本身的结构，影响压力传感器长期稳定性的主要因素是传感器所使用的环境。因此，为了使传感器具有良好的稳定性，传感器须具有较强的环境适应性。在选择传感器之前，请调查其使用环境，然后根据具体的使用环境选择合适的称重传感器，或采取适当的措施减少对环境的影响。
压力传感器的原理
由于传感器的输出信号一般很微弱，需要将其调制与放大。随着集成技术的发展，人们又将这部分电路及电源等电路也一起装在传感器内部。这样，传感器就可以输出便于处理，传输的可用信号了。而在以前技术相对落后时，所谓的传感器是指上文中的敏感元件，而变送器就是上文中的转换元件。
压力传感器一般是指将变化的压力信号转换成对应变化的电阻信号或电容信号的敏感元件，如：压阻元件，压容元件等。而压力变送器一般是指，压敏元件与调理电路共同组成的测量压力的整套电路单元，一般能直接输出与压力成线性关系的标准电压信号或电流信号，供仪表、PLC、采集卡等设备直接采集。
浅析压力传感器的原理通常
压力传感器浅析压力传感器的原理
通常压力传感器由两部分组成，即敏感元件和转换元件。其中，敏感部件是指传感器的一部分，其可以直接感测或响应被测部件;转换部件指的是传感器的一部分，其将由敏感部件经历或响应的测量的应变转换成适于传输或测量的电信号。
由于传感器的输出信号通常较弱，因此需要对其进行调制和放大。随着集成技术的发展，人们还在传感器内部安装了这部分电路和电源电路。通过这种方式，传感器可以输出易于处理和传输的可用信号。虽然现有技术相对落后，但所谓的传感器是指上述敏感部件，而是上述转换部件。
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