洁净室采样检测
采样点数口:对任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数不得少于1次,且不同采样点的采样次数可以不同。
采样点位置:1.采样点一般离地0.8m高度的水平面上均匀布置。洁净工作台采样点一般在工作台面上0.2m高度的水平面上均匀布置。
2.采样点多于5点时,可在0.8m~1.5m(略高于工作
洁净度检测服务
洁净室采样检测
采样点数口:对任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数不得少于1次,且不同采样点的采样次数可以不同。
采样点位置:1.采样点一般离地0.8m高度的水平面上均匀布置。洁净工作台采样点一般在工作台面上0.2m高度的水平面上均匀布置。
2.采样点多于5点时,可在0.8m~1.5m(略高于工作面)高度的区域内分层布置,但每层不少于5点。
洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80%。
洁净室照度检测步骤
(1)测量被测洁净室的长度和宽度,记录在原始记录纸上,并计算房间的面积;
(2)根据洁净室照度检测采样要求,进行布点,在每个测量点做好标记, 并在记录纸上画出测点布置示意图;
(3)准备好照度仪,并确定照度仪能正常使用,开启照度计,将探测头放置在测点位置上;
(4)每个测点等照度读数稳定时,一般间隔 1min,将该值记录在原始记录纸上。
(5)对测试数据按公式计算处理,与接受标准进行比较,判断照度是否合格。
(作者: 来源:)