洁净室检测测试规则
1.温度湿度,要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜)
2.压差洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>5Pa,洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。
3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。
4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处
洁净度检测设备
洁净室检测测试规则
1.温度湿度,要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜)
2.压差洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>5Pa,洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。
3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。
4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。
5.静态测试时,室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。
6.测试状态:静态测试和动态测试
洁净室检测静电检测
一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室检测程序
洁净室的检测主要是指对洁净室或洁净区域的空气洁净度等级进行测定,生物洁净室还要进行浮游菌、沉降菌的测试。在工程建设过程中的检测主要包括工程竣工验收和洁净室综合性能评定两个阶段的检测。在洁净厂房使用过程中,应对洁净室或洁净区域进行监测,并定期进行综合性能测试,以认证该洁净室或洁净区域是否始终符合要求。洁净室的检测首先应明确洁净室或洁净区域的占用状态,按照GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》规定,洁净室检测状态分为空态、静态和动态三种:
a.空态检测。设施已建成,其服务动力共用设施区接通并运行,但在无生产设备、材料和人员的状态下所进行的测试称为空态检测。
b. 静态检测。设施已建成,生产设备已经安装好,并按供需双方商定的状态运行,但无生产人员的状态下所进行的测试称为静态检测。
c. 动态检测。设施以规定的方式运行,并在商定的状态下进行工作,在此情况下进行的测试称为动态检测。
洁净室检测哪方面?
1、浮游菌,少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。全部采样结束后,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
2、沉降菌,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。