物理l气相沉积(真空镀膜)基本方法 :
从被沉积物质的气化方式看,真空蒸镀为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等;电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的z高温度有限,加热器的寿命也较短。溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子;离子镀可以分为蒸发式或者溅射式,蒸发式为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等,溅射式由进入辉光放电空间的原子由
LED灯反光杯镀膜加工
物理l气相沉积(真空镀膜)基本方法 :
从被沉积物质的气化方式看,真空蒸镀为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等;电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的z高温度有限,加热器的寿命也较短。溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子;离子镀可以分为蒸发式或者溅射式,蒸发式为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等,溅射式由进入辉光放电空间的原子由气体提供,反应物沉积在基片上。
佛山市锦城镀膜有限公司以耐高温车辆灯具注塑+镀膜为主的生产厂家,公司秉承“以质取胜,求真务实,顾客至上”理念,欢迎广大客户光临了解,我们将为你的产品锦上添花.
镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响 :
靶功率;磁控溅射本身粒子初始动能比较小,离化率低,电源功率越大,溅射出的粒子的初始能量越大,靶材溅射量也越大,沉积速率越快,膜层容易上厚度和硬度,同时工件温升也大,过高的功率会使沉积速率太快,粒子来不及表面迁移和扩散,易形成阴影效应,膜层会比较疏松,应力较大。在反应溅射系统中,一般都加入Ar加速反应速度,即提高溅射速率。
镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:真空度:真空度是指处于真空状态下气体的稀薄程度,用压强表示,压强越低,其稀薄程度越大,真空度越高。考虑到沉积粒子受负偏压作用加速轰击工件还会引起温升,基体可选在250-300℃。镀膜过程中,真空度主要通过控制ya气流量来改变。ya气越少,靶材溅射量越少,但真空度越高,气体分子自由程越大,散射越少,粒子碰撞几率越小,粒子迁移过程中损失的动量越少,沉积速率越大
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辉光清洗:对工件施加负偏压,产生辉光放电,利用ya离子轰击工件表面,这种辉光放电清洗作用比较柔和,一般采取由弱到强的轰击清洗顺序,是怕工件太脏时一开始就强轰击,可能产生强烈的打火而损伤工件。
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