电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择
工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。
(1)不锈钢管道
根据工艺冷却水的水质要求,SS304不锈钢管即可满足要求,但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透(RO)出水作为工艺冷却水的补充水源,而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或
喷漆洁净车间净化工程价格
电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择
工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。
(1)不锈钢管道
根据工艺冷却水的水质要求,SS304不锈钢管即可满足要求,但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透(RO)出水作为工艺冷却水的补充水源,而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或弱碱性时,可采用SS304不锈钢,当水的pH值呈酸时(RO出水在不加碱的情况下通常呈酸性),需采用抗酸性好的SS304L不锈钢。4、层流罩层流罩主要由箱体、风机、高效空气过滤器、初效过滤器、多孔板、控制器组成,外壳冷板喷塑或不锈钢板。
并将室内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特性。
总体洁净车间阶段是指土木工程围护结构的完成,这是常规的设备安装。包括机械设备、送排风系统及吊顶支架安装,对施工现场的清洁程度没有特殊要求。


净化车间实际应用的日常管理中,环境监测分析是一项重要工作。通过环境检测分析,我们可以掌握车间内温度、湿度、压力、微粒子浓度等参数,有助于净化车间环境的控制,从而保证车间内部环境始终符合企业生产要求。
1、车间环境监测要点
净化车间环境的监测需要始终围绕温湿度、压差风速、尘埃粒子等进行。
2、车间环境监测结果标准
通常来说,不同洁净度级别的净化车间环境监测结果标准也不同。我们以十万级净化车间为例。
车间温度:一般在18℃--28℃之间。
相对湿度:45%--65%之间。
压差:车间相对于室外大气的静压差应不小于10pa;空气洁净级别不同的净化车间之间的静压差不小于5pa;和物流通道应是从外向内压差逐步增加。
尘埃粒子:≥0.5μm的粒子浓度为3500000个/m3;≥5μm的粒子浓度为20000个/m3。
2、对温湿度有严格要求
在电子生产中,过高或者过低的温湿度都会对产品造成恶劣影响。例如;湿度过大,会导致电子元器件漏击穿、材料老化;湿度过低又会导致塑料、绝缘材料干燥收缩、变形甚至龟裂。温度过高会导致元器件膨胀,导致尺寸变化、位置偏移、机构变形,影响产量。
3、对静电有严格要求
在微电子器件生产过程中,各种因素产生的静电电压,往往会超过电子器件对静电的灵敏度范围,导致电子设备出现故障,损坏设备内部各元器件,引起设备误动。静电还会吸尘,容易积蓄灰尘,导致设备通风散热受到很大影响,导致机械零件出现严重磨损,从而影响设备的使用寿命。已被实验证明的光催化杀菌机理有:细胞渗透作用、辅酶A的破坏、内的降解、蛋白质和脂类的变性分解和细胞矿化等。
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