氦质谱检漏仪检漏方式
1、示踪气体A放在容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外围是否有气体A，如果容器外有气体A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。
2、示踪气体A喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体A。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。
氦质谱真空检漏仪
氦质谱检漏仪检漏方式
1、示踪气体A放在容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外围是否有气体A，如果容器外有气体A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。
2、示踪气体A喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体A。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。
如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。
氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；
4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。
5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。
氦质谱检漏仪的优点集中体现在这4个方面
（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。 （3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。 （4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。 为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如可通过采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了良好的条件。
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