广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC-UTM2001FW分子泵维修;
由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、率、、长寿命、低噪音、无油污等突出优点,一旦实现产业化,将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。 针对这一科技成果,在磁悬浮分子泵领域打破国外的技术垄断,提高了国内真空分子泵的技术水平,推动分子泵产品向应用发展,同时也为磁悬浮轴承
ULVAC-UTM2001FW分子泵
广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC-UTM2001FW分子泵维修;
由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、率、、长寿命、低噪音、无油污等突出优点,一旦实现产业化,将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。 针对这一科技成果,在磁悬浮分子泵领域打破国外的技术垄断,提高了国内真空分子泵的技术水平,推动分子泵产品向应用发展,同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索一条技术开发路线,为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为: (1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口,分子泵。 (2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。分子泵牵引分子泵是气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得运动的动能,被送到出口的一种动量传输泵。它的特点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。
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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200Pa以下,则V2关闭,V3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40Pa以下,则V3关闭,V4打开,氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。
设置为1mT,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,使用该测试平台测试了另一台其它的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。2020年12月10日,真空推出全新350和450涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了很佳的可靠性。性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有的和灵活性。
近日,真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵,同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的分子泵
高度可靠的新型涡轮分子泵:安全、、抗老化、体积小巧。在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能,保障其很高运行安全性。在轴承方面,的混合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。
坚固的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。此外,相较于其他涡轮泵,体型更加小巧紧凑,可集成到各种便携式和移动式应用中。同时,该泵还具备自动配件检测功能的Micro-USB接口,在短短几步之内即可投入使用,为用户带来便捷和高的效的使用体验。
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