真空检漏的具体方法检漏步骤为：检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰，很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气，由于机械泵运转的振动较大的，法兰螺栓容易松动，波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。真空检漏的具体方法为了方便说明真空检
密封测试设备
真空检漏的具体方法检漏步骤为：检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰，很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气，由于机械泵运转的振动较大的，法兰螺栓容易松动，波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9。9x104pa。m3/s之间。
检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。测漏压力应不高于设备设计压力的25%，但不103MP。设备备保压30分钟后，用扫描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3mm的范围内用吮吸，并应从焊缝底部至上而行。
检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。检漏方法以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。
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