反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等镀膜操作将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后
扫描电镜分析费用
反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体
反应溅射
在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。
反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等
镀膜操作
将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后，约为5 X10-1mmHg，按下"启动"按钮，通过调节针阀将电流调至6~8mA，开始镀金，镀金一分钟后自动停止，关闭电源，打开顶盖螺丝，放气，取出样品即可。
扫描电镜的制样方法有哪些
扫描电镜如何制样？
1.块体样品。直接可以用导电胶粘在样品台上测试，若需拍块体或者薄膜截面，需明确截面制备方法，一般可以通过剪刀裁剪或者液氮脆断两种方式来制备样品。
2.液体样品。用移液取样品超声后的悬浊液，滴一滴于硅片、锡纸或铝箔上，自然风干、烘箱烘干或者红外灯烘干即可，烘干后将硅片、锡纸或铝箔用导电胶粘在样品台上测试。
3.粉末样品。方式一是直接用导电胶粘在样品台上测试；方式二是乙醇分散制样，取少量样品于离心管中，加入一定量无水乙醇或者水，室温超声五到十分钟，超声后采用液体的制样方式制样即可。
电子显微镜用于聚焦电子
电子透镜用于聚焦电子，是电子显微镜镜筒中很重要的部分。 一般使用磁透镜，有时也使用静电透镜。它利用与镜筒轴对称的空间电场或磁场，使电子轨迹向轴弯曲，形成焦点。其作用与光学显微镜中的光学透镜（凸透镜）一样，使光束聚焦，故称为电子透镜。光学镜头的焦点是固定的，而电子镜头的焦点是可以调节的，因此电子显微镜没有光学显微镜那样的可移动镜头系统。大多数现代电子显微镜都使用电磁透镜，电子被非常稳定的直流激励电流通过带极靴的线圈产生的强磁场聚焦。电子源由释放自由电子的阴极、栅极和以环形加速电子的阳极组成。阴极和阳极之间的电压差需要很高，一般在几千伏到三百万伏之间。它能以均匀的速度发射并形成电子束，因此加速电压的稳定性不万分之一。
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