广州潽拓光电科技有限公司——TV550Agilent分子泵硬件升级
目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业
TV550Agilent分子泵硬件升级
广州潽拓光电科技有限公司——TV550Agilent分子泵硬件升级
目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。
分子泵轴承为什么会烧毁
原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
注意监测前级真空分子泵是一种高真空泵,它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作;除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外,分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力,避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高,造成负荷过大,泵温过高等。这些情况一定要加轴承吹扫分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体(如水汽,等),高浓度的氧气、腐蚀性气体,或者粉尘等,需要增配吹扫阀(Purge Valve),工作过程中利用吹扫气(一般为干燥氮气)持续对轴承进行吹扫,以达到隔离污染物,保护轴承的目的。
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的大允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
安捷伦科技的真空产品涉及从科研到工业的众多应用领域,包括高能物理,半导体工艺,化学,物理分析,以及真空镀膜,热处理等众多的工业应用。产品主要包括:机械泵、涡旋式干泵、分子泵、离子泵、扩散泵、氦质谱检漏仪、阀门、真空测量及配件等。无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的的便携解决方案,安捷伦都可提供相应的解决方案。
安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,其预置了 6 个应用设置,每个应用可设置 3 组报警值,通过简择,即可完成应用设置或者在不同应用间切换。对于大多数常见应用(吸、氦气喷、高灵敏度和自动排序器等),用户可以访问合适的应用界面并按照向导正确设置参数,如此便避免了时间的浪费或造成严重错误的可能。
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