无尘车间净化技术的设备发展
世界各工业为适应超净技术的发展，对无尘车间大量使用的高xiao过滤器的研究从未中断，几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器，1984年美国AAF公司开始生产0.1微米无隔板ULPA过滤器，目前0.1微米ULPA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。1
无尘室设计
无尘车间净化技术的设备发展
世界各工业为适应超净技术的发展，对无尘车间大量使用的高xiao过滤器的研究从未中断，几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器，1984年美国AAF公司开始生产0.1微米无隔板ULPA过滤器，目前0.1微米ULPA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。1微米ULPA过滤器生产，用于超大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0。日本也已成为世界上生产0.1微米ULPA过滤器厂家很多的，品种繁多，产品系列化，尤其是无尘车间低压损型0.1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。
净化技术的设备发展
在洁净室建设规模和技术水平上，我国与差距更大。目前，解决这三种有害气体，主要采取两种主要方式：一种是无尘车间净化风机，在神九发射前20天左右，天宫一号就已启动了净化风机,净化舱内空气。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71.8万平方米，而我国目年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188.5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0.1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次/分。
移动式层流小车
①主体框架采用304不锈钢，工作区三面PC板一面可开启门，美观整洁，易于清洁消毒;
②采用可调风量的风机系统，通过调节风机的工况，保证洁净工作区的风速在额定范围内;
③气流流形为垂直流，空气自上而下，在工作区与PC板之间形成空气保护，并与外部形成正压差，保证工作区的洁净度。
④设有报警系统，风机非正常状态停机，将自动报警。
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