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工业气体的分类方法很多种,例如按照气体自身化学成分可分为:硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。一起,以上分类存在交叉,例如四(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。
本身是无毒的,但一旦在相对狭窄的空间内形成高浓度,它将显著降低空气中的氧气比例,并产生缺氧窒息。当空气中浓度高于33%时,人有窒息的危险;当浓度高于50%时,人体会出现严重的缺氧症状;当浓度达到75%以上时,接触可在几分钟内消失。高浓度可导致缺氧和窒息
二氧化碳遍及应用于电器设备、紧密仪器、宝贵出产设备和图书档案的早期火警毁灭。二氧化碳气体庇护焊,可以遍及用于多种材料的焊接。二氧化碳应用于有机化学合成,可以制作多种经常使用化工产物,如尿素、水杨酸等。二氧化碳用作致冷剂,可冷冻食品。以二氧化碳为介质可进行低温热源发电。以二氧化碳为溶剂可进行超临界萃取,作为一种操纵技能用于分手多种产物和代替传统工艺操纵。固体二氧化碳(干冰)在上用来冷冻,并可用来进行人工降雨。利用液体二氧化碳干洗衣物,可取代有毒干洗剂。高纯二氧化碳用于电子产业,研究及临床诊断,检测仪器的校正用气及配制其他特种夹杂气体等。
高纯集中供气,低温由于氢是除氦以外具有极低沸点的气体,液态氢在真空中蒸发可获得14-15K的低温,因而,在需要获得超低温的科学研究中,常用氢作制冷剂。二氧化碳气态二氧化碳焊接二氧化碳气体保护焊,可以广泛用于多种材料的焊接,其保护效果不如其他稀有气体(如),但价格相对便宜许多。机器铸造CO2是添加剂,利于机器制造。

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