洁净室检测-采样量
不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁
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洁净室检测-采样量
不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。
洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限,即A≤级别界限,则判符合规定。(采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限,则判符合规定。(采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合,则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别,≥0.5um:2.83L/次,≥5um:2.83L/次
洁净室检测
1.洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。
2.风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处,用热线式风速计测定,原则上每只ULPA测定两点,每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值,以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积(ULPA之面积)。
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