若能实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class1~100。控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为
无尘室设备搬迁公司电话
若能实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class1~100。控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电,则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料,并藉由除电装置进行除电。
除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或化学品,以增强去污能力,由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。
清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外,尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,且其布料为不燃、不起毛,其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质,另外经过摩擦不产生静电或带电性非常,洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。头罩材质为无尘纸(或无纤纸)制成,帽子材质则与洁净衣同,二者在穿戴使用时,除了只露出眼睛或脸表面部分外,其他部分均须包覆,在头部部分连接上衣处也必须完全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。
对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套,必须使用洁净室的无粉乳胶手套或者胶手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏,如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点,建议改用胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换,但不能在洁净室里更换,只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套,应该慢慢地把手套从手上退下来。
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