广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵方案
安捷伦真空:分子泵使用中的注意事项:
分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
安捷伦提供TPS Min
广州Agilent分子泵方案
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵方案
安捷伦真空:分子泵使用中的注意事项:
分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
安捷伦提供TPS Mini紧凑型、TPS Flexy自由组合式、TPS Compact便携式、TPS Bench台式、TPS Mobile可移动式5种分子泵机组,形式多样,可根据客户应用和需求进行选择。前级泵分油式和干式两类,前级油封旋片泵的抽速范围从1.8-20.5m3/h,前级干泵提供的抽速范围从0.6-30m3/h,极大的满足了不同客户的应用需求。配置的FRG700全量程主动式真空计为皮拉尼和冷阴极组合式真空计,测量范围从大气至5*10-9mabr,满足了一测量真空的应用需求,简单方便。多功能,变化的样品架,可以测量固体、薄 膜、粉末以及液体样品。
安捷伦扩散泵特点用冷却水少,对冷却水温度要求不高与普通的扩散泵相比,同样规格的泵,安捷伦扩散泵仅需要50%甚至更低的冷却水流量。而且,安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高,只要保证排放温度不高于54度即可,当水压较低排水温度高于54度时,还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。
安捷伦扩散泵特点维护简单,皮实不爱坏扩散泵内部没有活动部件,与机械式真空泵的磨损失效不同,其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计,拥有很高传热效率的同时,又保证了泵油和加热器本身都没有过热点,泵油不容易裂解,加热器也不容易损坏;同时,精细的热传导和保温结构设计,也使热损失大大降低。
为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心,让分子泵在检测平台上按照既定程序加速(Re-channeling),磨合轴承。

CombiNEG系列采用安捷伦科技StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂
安捷伦科技的真空产品涉及从科研到工业的众多应用领域,包括高能物理,半导体工艺,化学,物理分析,以及真空镀膜,热处理等众多的工业应用。产品主要包括:机械泵、涡旋式干泵、分子泵、离子泵、扩散泵、氦质谱检漏仪、阀门、真空测量及配件等。无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的的便携解决方案,安捷伦都可提供相应的解决方案。
安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,其预置了 6 个应用设置,每个应用可设置 3 组报警值,通过简择,即可完成应用设置或者在不同应用间切换。对于大多数常见应用(吸、氦气喷、高灵敏度和自动排序器等),用户可以访问合适的应用界面并按照向导正确设置参数,如此便避免了时间的浪费或造成严重错误的可能。
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