气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法？
气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情，如果不加以解决会影响整个工程的进展，甚至造成更大的损失，那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗，当遇到这种问题又有哪些解决方法呢
产生此类故障的原因有三种：
第i一，是流量计后气路有泄漏;
第二，是气路气阻太小;
第三，是流量控制阀件损坏。
实验
山东实验室气体管道安装
气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法？
气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情，如果不加以解决会影响整个工程的进展，甚至造成更大的损失，那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗，当遇到这种问题又有哪些解决方法呢
产生此类故障的原因有三种：
第i一，是流量计后气路有泄漏;
第二，是气路气阻太小;
第三，是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下：
首先堵住检测器的气路出口，观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零，需要考虑对漏气处进行检查，具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一下流量调节阀转动时，流量是否 有较大的变动，若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题，按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。4、所有管路在天花板下面布设，并通过功能柱到台，边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。
高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些？
1、用固体CaCl2除水，水份可降低至0.1%（体积）以下；
2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，水份可降至0.01%（体积）以下；
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