每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是俗称的1K级别。
无尘室的优点:构造简单、系统建造成本
无尘室设备拆卸运输公司
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是俗称的1K级别。
无尘室的优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。
无尘室的缺点:乱流造成的微尘粒子于室内 空间飘浮不易排出,易污染制无尘室程产品。另外若系统停止运转再重启,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策:
减少接触剥离发尘的动作形态;
采用磨耗发尘小的材质;
采用发尘小的润滑油;
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
若能实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。无尘室内防止微粒子污染基本原则:排除/除去在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。因此“不储备”技术地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套,必须使用洁净室的无粉乳胶手套或者胶手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏,如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点,建议改用胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换,但不能在洁净室里更换,只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套,应该慢慢地把手套从手上退下来。
(作者: 来源:)