广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
改进的转子结构
TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构:比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片,并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的
广州Agilent分子泵维修厂
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
改进的转子结构
TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构:比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片,并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题,可以承受持续的大气体流量,并可将前级耐压提高至 16 mbar。
国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外,国产真空泵主要应用于化工等行业。
性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1
EN 61326-1
EN 1012-2
EN 12100
EN 50581
机械指令 2006/42/EC
电磁兼容性指令 2014/30/
EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM
为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)设计并执行了下面的测试:
测试条件和装置
被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。
被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动。
安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。
安捷伦1100液相色谱仪(美国惠普Agilent,配二级管阵列紫外检测器G1315B, G1313A自动进样器,G1311A自动调配泵,G1316A可调柱温恒温箱),Agilent色谱化学工作站,旋涡混合器(上海医科大学仪器厂),电子天平(瑞士SARTORIUS),高速离心机(美国MICR012-24),真空干燥箱(德国MMM-GROUP)。
安捷伦1200系列单元系统是针对 QA/QC 应用,以及要求经济型HPLC系统具备的其它应用而设计的。安捷伦1200系列单元系统为模块式设计,是理想的启动系统。它完全可以升级,可以针对今后的需求,扩展系统性能或添加自动化和检测器组件。
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