洁净室具有风量大,空调系统风压高,运行时间长等特点,故其能耗比一般建筑为大。因此,在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较,其大致数值见表27.10-1。普通民用空调(如办公楼、旅馆)单位建筑面积的冷负荷在100~130w,而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看:微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体,一
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洁净室具有风量大,空调系统风压高,运行时间长等特点,故其能耗比一般建筑为大。因此,在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较,其大致数值见表27.10-1。普通民用空调(如办公楼、旅馆)单位建筑面积的冷负荷在100~130w,而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看:微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体,一般均占90%以上,图27.10-1为某芯片(φ300mm)生产厂房冷负荷的成分组成。表27.10-2还给出了不同级别洁净室的负荷组成供参考。另一个特点是:从全年来看所有季节均存在冷却负荷,即其供冷季节长,这也是从整体上讲其能耗大的原因。
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因此,在进入洁净室前必须遵守着装程序。穿上符合相应洁净等级的洁净无尘服和佩戴AClean洁净。同时必须对洁净室内工作人员反复培训,提高洁净室内作业人员的洁净意识。
无菌隔离系统是完全密封的,将药品、生物制品控制、并处理成无菌状态。采用隔离操作技术可的防止产品受到污染,保护操作者的安全,避免受到毒性物质的伤害。
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