EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修
惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、维修进口真空泵技术队伍，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与保养服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们
爱德华真空泵公司
EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修
惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、维修进口真空泵技术队伍，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与保养服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。我们有一系列适合所有电池制造需求的泵，这些泵由服务和支持网络提供支持。
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。6ft3min-160Hz90m3h-1/53ft3min-1级数2极限真空（总压力）不带气镇1。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。2,真空度达不到要求先检查真空泵的气密性,检查是否漏气,其次打开气镇阀,让真空泵运转30分钟,抽干真空泵里面的压缩蒸汽,排除压缩蒸汽对真空泵的影响。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。通过与各主要科学仪器制造商、大学院校和主要研究机构的通力合作，我们能够深入了解研究过程以及真空技术所发挥的作用。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
使用真空泵机组时需要注意什么
1、在蒸馏系统和真空泵机组之间，必须装有吸收装置。
2、蒸馏前必须用水泵抽去系统中溶剂的蒸气。
3、如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。
4、真空泵机组腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
5、减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
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