涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R
爱德华真空泵公司
涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵
为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:
S1,=2仇、+Vol卜(5.2)
其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏，其实际抽速S要理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，
Q。为总泄漏，则〔10)
S*PL=Sw*P,司t
则实际抽速为
g
J=J'*一下了
r,
(5.3)
5.1.3极限压力
涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际
抽速S=O，即可得极限压力〔10)
(5.4)
概述
Edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。
我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。
Drystar 泵可以与 Edwards EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
应用
真空感应熔炼 (VIM)
精密熔模铸造 (PIC)
真空电弧精炼 (VAR)
真空镀膜
电子束焊接
真空烧结
钢脱气
硬化
等离子和 LP 氮化
LP 渗碳
真空铜焊
粘辊
玻璃涂层
滤光片和镜头
真空喷镀
硬盘和光盘母版制作
变压器、电容器和电缆
皮革
辛香料和芳香剂
核工业
真空腔修整
太阳能电池生产
高度可靠的干燥机械装置，已经过 60,000 多套产品实际验证。
技术数据 GV80GV160GV250GV400GV600构造3 爪 + 1 杆2 爪 + 1 杆3 爪式3 爪式3 爪 + 1 杆排量（工作容积）91.5 m3h-1200 m3h-1341 m3h-1540 m3h-1793 m3h-1抽速 *80 m3h-1180 m3h-1250 m3h-1380 m3h-1560 m3h-1极限压力<0.03 mbar<0.1 mbar<0.4 mbar<0.4 mbar<0.05 mbar10 mbar/7.5 Torr 时的功耗3 kW4.2kW6 kW7 kW7 kW电机额定功率4 kW7.5 kW11 kW18 kW22.5 Kw20 oC 时的冷却水流量1 l min-11 l min-14 l min-14 l min-15.5 l min-1封口吹扫（干燥空气）
真空泵泵体振动大的原因有哪些
水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。其他进口螺杆真空泵维修型号：EH250，EH500，EH1200,EH2600，EH4200提供进口罗茨泵维修保养，维修包括：莱宝、爱德华、Aerzen,Kaesser,Dresser,Hibon,Robuschi,RKR等进口。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水供水量，若进水管发生结垢及堵塞现象。只凭进水压力不能准确衡量进水供应情况，一般可通过观察上海真空泵的排水量来判断水环的工作情况。
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