实验室气体的危险性
1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能
高纯供气系统报价
实验室气体的危险性
1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。试验室集中供气系统的优点针对过去使用中存在的问题,现代试验室对载气的使用环境进行了改革,即“集中供气系统”,即将使用气体(以下简称载气)集中贮存,然后通过压差的原理将气体经过金属或其他材质管路送至用气点。
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高纯供气系统
稳压效果好。集中供气可采用二级减压或多级减压方式获得较好的稳压效果。例如,系统二级减压后,加上仪器内部的调压装置,可以说是三级稳压,气源在一级减压后,主管路上保持较高压力,便于远距离管道输送,在仪器前端采用二级低压减压阀,将压力调整到仪器工作范围内,再进入仪器内部的压力调整后,进入仪器的气体能够确保达到仪器使用要求。实验室供气系统气体管路实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,保证其储存和使用的安全性。
持续和及时。集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统,平时每个供气源为一开一备状态,可根据仪器工作条件对局部或整体气体压力、流量进行调节,能保证仪器用气的流量和压力的稳定性、持续性,也能保证量值传递不发生变化。
扩展性灵活。集中供气管道上可预留接气点以及能够扩展的点,并安装控制开关或堵头,方便扩展。所有用气的仪器前端均装控制阀。因此,可以在不影响其他仪器正常工作的情况下,扩展新的用气端点。
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