烘箱介绍及其注意事项
仪表控温的热敏元件探头应从左侧线路的测温孔中插入工作室内,不得从箱顶气阀中心孔插入，以免影响使用。
本干燥箱初次使用时，应请勤加以观察，避免过热烘坏工件，造成损失。
使用如感到热惯稍大时，可关闭一组加热器以降低发热功率，防止惯性过大造成超温。
取入烘烤物件：请勿撞击伸入工作室的控温器部份，防止损坏控温器导致失灵。
本箱在没有说
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烘箱介绍及其注意事项
仪表控温的热敏元件探头应从左侧线路的测温孔中插入工作室内,不得从箱顶气阀中心孔插入，以免影响使用。
本干燥箱初次使用时，应请勤加以观察，避免过热烘坏工件，造成损失。
使用如感到热惯稍大时，可关闭一组加热器以降低发热功率，防止惯性过大造成超温。
取入烘烤物件：请勿撞击伸入工作室的控温器部份，防止损坏控温器导致失灵。
本箱在没有说明“防爆烘箱”的情况下切忌烘烤易曝，容易橪烧及挥发性的物品，以防曝炸。
如遇故障，请电工检修。
热风循环烘箱工作原理
当保温灭菌时间达到设定值时，时间继电器输出信号给PLC，PLC输出全闭电加热，开启水冷却电磁阀，使其吸合导通，从而箱体处于冷却降温阶段。真空箱工作室无防爆、防腐蚀等处理，不得放易然、易曝、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥。当箱内温度下降≤40℃时，温控仪输出控制信号给PLC，PLC输出关闭热风循环风机，干燥灭菌周期程序结束。 TEED一2001 K超温报警温控仪输出信号控制PLC整个程序的运行，铂电阻PT 100测试信号至报警温控仪与超温报警设置温度值进行比较，当实际温度值设定值时，输出控制信号给PLC，PLC程序正常运行。当实际温度值超过设定值时，输出控制信号给PLC，PLC关闭运行程序。故超温报警的设置值一般要高于工作温度的设定值。
热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。真空干燥箱为提高物料干燥速度，应根据物料的特性综合考虑真空度。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。2、每要清洁打扫工业烤箱的表面以及内腔的灰尘等，维持设备的卫生和干净。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。
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