广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修店
罗茨真空泵市场
从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的
Agilent分子泵维修店
广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修店
罗茨真空泵市场
从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场,这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。另外,还要考虑到有些和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性
分子泵叶片破碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。
③、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。
⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。
尽量避免频繁启停分子泵在匀速工作时,转子叶片仅受到离心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不计),即远离轴心的方向的拉力;而在加速和减速的时候,叶片还受到转动切线方向的力,相当于对叶片进行弯折的力。显而易见,对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
另外,分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30 分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。
当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。

使用经过加速的离子束照射被测的表面,通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析,具有直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。
注意监测前级真空分子泵是一种高真空泵,它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作;除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外,分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力,避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高,造成负荷过大,泵温过高等。这些情况一定要加轴承吹扫分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体(如水汽,等),高浓度的氧气、腐蚀性气体,或者粉尘等,需要增配吹扫阀(Purge Valve),工作过程中利用吹扫气(一般为干燥氮气)持续对轴承进行吹扫,以达到隔离污染物,保护轴承的目的。
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的大允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
(作者: 来源:)