检漏的重要性
氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器，具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作
正压质谱检漏真空系统价格
检漏的重要性
氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器，具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
氦质谱检漏仪检漏方式
1、示踪气体A放在容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外围是否有气体A，如果容器外有气体A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。
2、示踪气体A喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体A。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。
如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。
氦质谱检漏仪的优势
科技信息化不断更新迭代的市场，氦质谱检漏仪的应用技术也在不断发展和完善。一方面过去的氦质谱检漏仪不能满足现阶段的一个需求，而且对检漏仪提出新要求的情况下，检漏仪设备不得不更新，另一方面每个行业的不足都在进步的过程，缺陷与不足相互补充，相互促进。而现在的氦质谱检漏仪早已告别了四五十年代的初期情形，在性能和领域上都有新的突破。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：
1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。
2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。
4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪的注意事项
氦质谱检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，氦质谱检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内氦质谱检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。
清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者测算，在测试到数量级为10-9P a m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8P a m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7Pam3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。
（作者： 来源：）
