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罗茨真空机组在一般情况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。
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真空机组运行故障原因及解决方法：
振动大原因：
1、机座与基础接触不良，地脚螺栓松动；
2、对中不好。
轴承部位发热原因：
1、电机、液环真空泵不对中；
2、润滑不良，油脂干涸或太多；
3、轴承安装不当；
4、轴承锈蚀、磨蚀、滚道被划伤。
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罗茨真空机组除具有良好的机械性能和加工性能外，还要满足其他性能的要求，即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度、合适的辐射能力等。所以罗茨真空机组具有特殊性，对清洁处理要求是极为严格的，应清除或减少零件的污染。
罗茨真空机组指没有特殊要求的真空工艺过程，这类罗茨真空机组对环境的要求是：凡是处于罗茨真空机组，都要求无积存的污染源，表面无尘埃，无铁屑、无锈蚀。
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