洁净室检测静电检测
一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (8
心电图机检测报告
洁净室检测静电检测
一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室污染源传播的途径
不但要弄清洁净室的污染源是哪些,其污染途径同样需要分析清楚。从大的方面来看,洁净室的污染粒子主要是通过空气传播与接触传播。但在很多情况下,这两种传播途径是交替存在的、协同传播的。所有的主要污染源都会将所发生、携带的污染粒子散布到空气中,微小的粒子会在空气中扩散,或随气流运动并接触到洁净室的产品或研究对象而构成污染。这些微粒子还可能粘附在墙面、地面、设备表面上,因人员操作、走动或气流的扰动又重新扩散到空气中去,形成二次污染。
较大的粒子如碎屑、细末和纤维,不会远离其生成的地点,但也存在掉落在产品、产品构件之中,或者附着在它们的表面上构成污染。这些粒子还会掉落﹑粘附在操作人员的手套、服装上,随后又污染了其他的产品和洁净室表面。
但机器设备、容器、包装、原材料、手套、服装等与产品直接接触时,附着其上的污染物就可以通过“接触”这个途径传播给产品。
洁净室各类检测
1.温湿度检验:①使用温湿度计测试时,距地板高度约1.2M,用温湿度计于测试,约每9M2测定一点,每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2.噪音检验:距地板约1.2M,用噪音计于测测试,测数以每9M为一点,每点测定时间5秒。
3.不管气流为层流.乱流或混合式流,于工程完成后之状(ASBUILT)各项目大部分均须列入检验,但在作业状态则有所选择。
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