厦门龙筹机电有限公司是一家致力于真空泵设备销售、真空泵配件、安装及保养维修、真空机组系统设计与制作等的企业。经营有贝克becker真空泵,Rietschle里其乐真空泵,Leybold 莱宝真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 爱德华真空泵等,欢迎来电咨询!
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引
有油螺杆真空泵
厦门龙筹机电有限公司是一家致力于真空泵设备销售、真空泵配件、安装及保养维修、真空机组系统设计与制作等的企业。经营有贝克becker真空泵,Rietschle里其乐真空泵,Leybold 莱宝真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 爱德华真空泵等,欢迎来电咨询!
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。
真空泵壳一旦发生腐蚀企业的传统修复方式是通过车削来调整轴间距,但是这个方法不能次地使用也不能从根本上解决问题,可以使用汉迪可高分子复合材料修复,该材料具备优异的附着力,很好的抗腐蚀、抗气蚀、抗磨损性能,工艺简单,效果明显。
密封结构采用迷宫式密封+充气密封+干式密封,这种密封可完全隔断润滑油腔与泵腔的通道,防止润滑油与被抽气体相互扩散、污染。真空泵齿轮采用润滑油润滑,润滑油量应当添加至油镜中线稍上即可,但不可没过油镜。如果油量太少,油腔内进入流动的循环的润滑油油量就少,轴承和齿轮得不到有效的润滑,会因异常摩擦而受损;同时流动的润滑油少,不能有效地冷却齿轮与轴承,会影响真空泵的使用寿命,甚至出现故障。
如今,越来越多规定要求走可持续发展道路,选取新型环保材料,满足用户需求,减少噪音输出,为用户提供满意的工况环境;根据客户需求,支持开发定制,多样发展。
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