真空镀膜设备在工业生产中应用广泛,无论是大小产品、金属产品或塑料产品,还是陶瓷、芯片、线路板、玻璃等产品,基本上都需要进行表面处理镀膜。在涂料就方式而言,比较常见的是采用蒸发镀或磁控豺镀或离子镀。在控制技术方面,采用了更的计算机技术和微电子技术,使真空镀膜设备更加、智能化自动化。、真空镀膜加工、表面处理、PVD镀膜、模具镀钛、纳米镀膜、真空镀膜、零件镀钛、精细模具镀钛、冲压
真空镀膜设备
真空镀膜设备在工业生产中应用广泛,无论是大小产品、金属产品或塑料产品,还是陶瓷、芯片、线路板、玻璃等产品,基本上都需要进行表面处理镀膜。在涂料就方式而言,比较常见的是采用蒸发镀或磁控豺镀或离子镀。在控制技术方面,采用了更的计算机技术和微电子技术,使真空镀膜设备更加、智能化自动化。、真空镀膜加工、表面处理、PVD镀膜、模具镀钛、纳米镀膜、真空镀膜、零件镀钛、精细模具镀钛、冲压模具镀钛、压铸模具镀铬、镀膜、真空镀钛、镀钛等。
影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些
靶基距、气压的影响
磁控溅射真空镀膜机靶基距也是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,薄膜厚度均匀性在一定范围内随着靶基距的增大有提高的趋势,溅射工作气压也是影响薄膜厚度均匀性重要因素 。但是,这种均匀是在小范围内的,因为增大靶基距产生的均匀性是增加靶上的一点对应的基材上的面积产生的,而增加工作气压是由于增加粒子散射产生的,显然,这些因素只能在小面积范围内起作用。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
7、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好真空室门,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。
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