镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:
弧靶电流:弧靶电流越大,靶材蒸发量越大,靶面温度越高,冷却越差,弧靶产生的液滴大颗粒越多,膜层外观越差,膜层中的缺陷越多。本底漏率:本底漏率是指真空室在未加入气体单位之前本身的单位漏率,漏率越大,进入炉内的杂气就越多,不管真空度多高,这会严重影响镀膜过程中炉内气氛的纯度和工件表面的洁净度,会破坏膜层的结合力和膜层颜色的纯度
生产特种灯具反光杯
镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:
弧靶电流:弧靶电流越大,靶材蒸发量越大,靶面温度越高,冷却越差,弧靶产生的液滴大颗粒越多,膜层外观越差,膜层中的缺陷越多。本底漏率:本底漏率是指真空室在未加入气体单位之前本身的单位漏率,漏率越大,进入炉内的杂气就越多,不管真空度多高,这会严重影响镀膜过程中炉内气氛的纯度和工件表面的洁净度,会破坏膜层的结合力和膜层颜色的纯度。②由于被蒸发材料是置于水冷堆锅内,因而可避免容器材料的蒸发,以及容器材料与蒸镀材料之间的反应,这对提高镀膜的纯度极为重要。
利用电阻加热器加热蒸发的优点:镀膜机构造简单,造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的z高温度有限,加热器的寿命也较短。电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的z高温度有限,加热器的寿命也较短。近年来,为了提高加热器的寿命,国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。
反应溅射就是在反应气体环境中镀膜,溅射过程中靶材会与溅射气体发生化学反应。反应溅射一般沉积不导电的膜层,例如:Snox,ZnOx,Siox,SiNx等。在反应溅射系统中,一般都加入Ar加速反应速度,即提高溅射速率。真空镀膜之多弧离子镀:该装置的优点是阴极电弧源既是蒸发源和离化源,又是加热源和轰击源,不用熔池,弧源可任意方位,多源布置。在反应溅射气氛中,加入工作气体越多,溅射速率越高,当加入的工作气体过多时,反应气体来不急将所有溅射出来的原子反应掉,膜层内就会含有金属,我们把这种状态叫翻转。在反应溅射过程中,无论翻转与正常状态,靶的溅射速率都没有不反应溅射速率高。
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