概述
EM 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业和实验室应用的行业标准。
E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。
应用分析仪器 - LCMS汽车射束线和高能物理
爱德华真空泵供货商
概述
EM 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业和实验室应用的行业标准。
E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。
应用分析仪器 - LCMS汽车射束线和高能物理超高速离心机覆层低温学脱气/硫化 - 油，环氧树脂蒸馏/萃取/过滤冷冻干燥熔炉气瓶充气/排空凝胶体干燥手套式操作箱，干燥炉实验室工作台上真空激光机、 气体回收和再循环氦检漏仪负载锁和传输腔冷冻制造旋转离心蒸发器溶剂回收表面科学仪器涡轮分子前级泵 技术数据
E2M18E2M28E1M18排量 (50Hz)20.5 m3h-1/32.2 m3h-120.5 m3h-1/ 12.1 ft3min-1 19 ft3min-112.1 ft3min-1排量 (60Hz)25.0 m3h-1/38.9 m3h-125.0 m3h-1/ 14.7 ft3min-116.2 ft3min-114.7 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 50 Hz17.0 m3h-1/27.5 m3h-117.0 m3h-1/ 10 ft3min-116.2 ft3min-110 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 60Hz20.4 m3h-1/33.0 m3h-120.4 m3h-1/ 12.1 ft3min-1 19.5 ft3min-112.1 ft3min-1极限真空（总压力）
Edward爱德华EH1200罗茨泵维修保养 漏气，有点卡死
EH1200是德国Edward爱德华EH系列罗茨泵，这款泵是比较大的，罗茨泵不能单独使用，一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号：EH250，EH500，EH1200, EH2600，EH4200
提供进口罗茨泵维修保养，维修包括：莱宝、爱德华、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等进口；罗茨泵维修提供莱宝WSU系列、WAU系列和爱德华EH系列等；
爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是
1.发热、
2.卡死、
3.抽气量不足、
4.性能不稳定、
5.噪音大等故障；
温馨提示：如果爱德华EH1200罗茨泵漏气，有点卡死，记得致电的罗茨真空泵维修厂家，不可擅自处理，以免引起其他不良的故障反应。
化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。
干泵选择
CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。温馨提示：如果爱德华EH1200罗茨泵漏气，有点卡死，记得致电的罗茨真空泵维修厂家，不可擅自处理，以免引起其他不良的故障反应。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。4：珠三角范围客户我司承诺24小时内派出技术人员到达客户公司及时处理真空设备故障，东莞范围客户8小时到达。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。
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