以前我做过感光板,效果都很好,显影之后清洗完成马上腐蚀,腐蚀时间的也就5分钟搞定,如果三氯化铁浓度高,温度高的话,一般2分钟内完成腐蚀。
前几天又用感光板做电路,显影以后,由于三氯化铁溶液没有准备好,所以先在太阳下暴晒(增加感光膜硬度),然后放置了2天,今天腐蚀,然而三氯化铁温度,浓度都相当可以,但是腐蚀效果非常差,前后用时有20分钟,下面是图片。贴片IC的脚印之间我用小刀刻过,防止
圆弧面曝光显影厂
以前我做过感光板,效果都很好,显影之后清洗完成马上腐蚀,腐蚀时间的也就5分钟搞定,如果三氯化铁浓度高,温度高的话,一般2分钟内完成腐蚀。
前几天又用感光板做电路,显影以后,由于三氯化铁溶液没有准备好,所以先在太阳下暴晒(增加感光膜硬度),然后放置了2天,今天腐蚀,然而三氯化铁温度,浓度都相当可以,但是腐蚀效果非常差,前后用时有20分钟,下面是图片。贴片IC的脚印之间我用小刀刻过,防止腐蚀后短路,还有几处腐蚀速度很快也是因为我用刀修理过。剩下的地方腐蚀速度差异非常大。原因我考虑可能是显影以后铜膜钝化了,所以和三氯化铁接触不良导致。有遇到过这样情况的帮我分析一下,解决一下,不胜感激涕零无数!
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光刻十步法:表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀,
光刻胶的物理属性:
粘度:测试方法有落球粘度计量器、Ostwalk-Cannon-Fenske方法、转动风向标法、粘度单位是厘泊(centipoise),另一种单位称为kinematic粘度,它是centistoke,由 粘度(厘泊)除以光刻胶密度而得到,默认温度为25度;
折射系数:index of refraction,对于光刻胶其折射率和玻璃接近约为1.45;
储存与控制: 光热敏感度、粘度、清洁度……
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曝光是利用光照将掩模版上的图形经过光学系统后投影到光刻胶上,实现图形转移,是集成电路制造中光刻工艺的重要工序之一。晶圆表面涂有光刻胶,掩模版上的图形被投影到光刻胶上之后,会激发化学反应,光刻胶经过前烘之后,原本为液态的光刻胶在硅片表面固化,这样就可以进行曝光。在未经曝光前,正性光刻胶中的感光剂DQ是不溶于显影液的,同时也会抑制酚醛树脂在显影液中的溶解。圆弧面曝光显影厂

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