如果用标样来做有标样法的定量分析如果用标样来做有标样法的定量分析，为了保证待测样品与标样膜厚度相同，标样和样品应放在一起同时蒸镀。如果所要分析的样品中含有碳，而又要进行碳的定量分析，则该样品采用环境扫描或低真空的电镜做分析。如果没有低真空的台式扫描电镜，而改镀金属膜，则超轻元素会受到明显衰减。如果样品表面镀有导电膜，在做定量分析时应把所镀膜层的元素峰排除在外，即应让所蒸镀的
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如果用标样来做有标样法的定量分析
如果用标样来做有标样法的定量分析，为了保证待测样品与标样膜厚度相同，标样和样品应放在一起同时蒸镀。如果所要分析的样品中含有碳，而又要进行碳的定量分析，则该样品采用环境扫描或低真空的电镜做分析。如果没有低真空的台式扫描电镜，而改镀金属膜，则超轻元素会受到明显衰减。如果样品表面镀有导电膜，在做定量分析时应把所镀膜层的元素峰排除在外，即应让所蒸镀的元素峰参与峰剥离，而不参与定量计算，以尽量减小外来因素的影响。
扫描电子显微镜(scanningelectronmicros
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，简称扫描电镜/SEM）的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统，以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的，1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜（SEM）。
由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。
扫描电子显微镜的地方,都用SEM代替
扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生，但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它，才能更好地利用它为人类创造价值。扫描电子显微镜由三部分组成：真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方，都用SEM代替。
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。
之所以采用真空，主要基于以下两个原因：
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。
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