反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等镀膜操作将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后
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反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体
反应溅射
在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。
反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等
镀膜操作
将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后，约为5 X10-1mmHg，按下"启动"按钮，通过调节针阀将电流调至6~8mA，开始镀金，镀金一分钟后自动停止，关闭电源，打开顶盖螺丝，放气，取出样品即可。
不导电的样品有哪些特点
总而言之，对于不导电的样品，如生物、纸张、橡胶、塑料、陶瓷等，除非使用环境台式扫描电镜或低真空模式的电镜或采用低的加速电压做分析，否则在传统电镜中进行图像观察和成分分析时若没有蒸镀导电层，则容易产生放电，造成图像漂移，热损伤等现象，使分析时难以定位和聚焦。当入射的电子束能量较大时，那些不耐热或低熔点的样品在电子束的照射部位有可能产生起泡、灼伤甚至熔融。为了使样品表面能有良好的导电性和散热功能，一定在样品表面蒸镀一层导电膜层。
扫描电子显微镜(scanningelectronmicros
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，简称扫描电镜/SEM）的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统，以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的，1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜（SEM）。
由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。
视频放大器放大的次级电子信号
视频放大器放大的次级电子信号是交流信号。该交流信号用于调制显像管栅极的电力。结果在显像管荧光屏上呈现出不同明暗的画面，反映了样品表面起伏度（形貌）的二次电子图像。需要特别指出的是，入射电子束在样品表面的扫描与在荧光屏上的扫描要同步，即要使用同一个扫描发生器来控制，使任何物点在样品上可以保证。显像管荧光屏上的电子束正好对应点A，即物点A和像点A在时间和空间上一一对应。图像点A通常称为图像单元。显然，一幅图像是由许多图像单元组成的。
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