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流体数字控制模块价格服务介绍「多图」

企业视频展播,请点击播放视频作者:北京晓韬科技有限公司 流量控制单元(FSCU) FSCU(Flow System Control Unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向,为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。 FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国
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流量控制单元(FSCU)

FSCU(Flow System Control Unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向,为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。

FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等)及电磁截止阀开关,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

晓韬科技——流量控制单元供应商,我们为您带来以上信息。










体积流量的表示方法

对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

以上内容由晓韬科技为您提供,今天我们分享的是流体系统控制单元的相关内容,希望对有需要的朋友能有所帮助!













质量流量控制器在高压条件下如何使用

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的MFC; 2, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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