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珠海ULVAC-UTM3303FW分子泵来电垂询「在线咨询」

广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC-UTM3303FW分子泵出售; 在真空的世界里,也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空,并且可以持续的无故障长时间运行,高真空泵极限真空极高,只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴,在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献,推动了科学仪器行业的飞速发
ULVAC-UTM3303FW分子泵







广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC-UTM3303FW分子泵出售;

在真空的世界里,也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空,并且可以持续的无故障长时间运行,高真空泵极限真空极高,只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴,在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献,推动了科学仪器行业的飞速发展。





为什么分子泵和前级泵是天作之合?分子泵需要配置前级泵, 而不是直接在大气压下工作. 我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态下工作才能显示出它的优越性。分子泵输送气体应满足两个必要条件:1涡轮分子泵必须在分子流状态下工作;2分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利;





在纯粹涡轮分子泵的情况下, 由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。

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真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时,对外发布的各项参数和曲线,比如下图的抽速和压缩比曲线,都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的,在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。





在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远阈值。抗振动测试通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远阈值。





温度测试将泵置于–40°C至+70°C(处于非运行状态)以及0°C至40°C(处于运行状态)下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次,结果显示仅存在的变异,远阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平:0.4m/s2。






我国是世界很大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与设备和零部件方面,存在较大国外依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,公司积极响应需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,多项关键技术,于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。





公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵,以其优越的性能,已广泛应用于工业过程、镀膜等领域,为半导体零部件国产化注入新活力。未来,公司将继续聚焦半导体产业发展需求,全力突破“卡脖子”技术难题,推动半导体设备零部件国产化,为集成电路发展持续贡献力量。





现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.






分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响?

今天,小编将向大家介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响,希望对大家有所帮助。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种泵。分子泵是获得高和超高的关键设备之一。








它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高和超高环境。




分子泵是氦质谱检漏仪中获得高重要部位,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高泵与低泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。












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