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真空泵泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵供水量不足的调节方法

水环式真空泵启动后，在整个过程中连续供水，使其压力平衡，并有足够的水。由于真空泵的供水量有一定的范围，为了获得标准的供水量，可以按照程序调节供水阀。水环真空泵正常运行后，适当打开供水阀，观察入口真空计的压力。慢慢关闭小供水阀的开度。当真空表指针开始波动或下降时，供水量不足。慢慢打开供水阀。当真空表指针再次稳定时，供水量为标准供水。当水环式真空泵供水不足时，设备的抽气能力下降，工作不稳定。当供水过多时，会造成水资源浪费，增加泵的轴功率，甚至烧坏电机。水环真空泵的供水量可以调节，我们只需要按照上述方法进行调节，在使用过程中必须做好供水阀的操作。必须正确调整设备的供水量，提高设备的效率。