洁净室检测注意事项
1.检查测定仪器是否正常,并作外表洁净后方可进入测试环境,采样管必须清洁并无渗漏,仪器按规定预热至稳定。
2.测试点及采样次数均应在测试开始前确定,防止在测试过程中随意改变测试点及改变采样次数。
3. 计数器采样口和仪器工作位置应在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
4.在确认洁净室(区)送风量和压差达到要求后,方可进行采样。布置采
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洁净室检测注意事项
1.检查测定仪器是否正常,并作外表洁净后方可进入测试环境,采样管必须清洁并无渗漏,仪器按规定预热至稳定。
2.测试点及采样次数均应在测试开始前确定,防止在测试过程中随意改变测试点及改变采样次数。
3. 计数器采样口和仪器工作位置应在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
4.在确认洁净室(区)送风量和压差达到要求后,方可进行采样。布置采样点时,应避开回
风口。
5.更换测试点时,应待仪器读数下降至稳定后,方可开始新测试点的读数。4.3.6.测试过程中测试人员应位于采样口的下风侧。
7.采样管的长度为仪器使用所允许的长度。无规定时,不宜超过1.5米。
8.测试结果不符合洁净级别要求时,应按原方法重复一次,并且每个测试点的采样次数增加2次;重复测试结果符合规定时,即可判定为符合该洁净级别的要求。
洁净室检测压差的测试
(1)应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。
(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。
(4)所测量记录的数据应到 1.0Pa。
(1)先关闭所有的门。
(3)记录所有数据。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
洁净室压差检测
1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后,一头与大气连通,另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值,就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况,U 型压力计的玻璃管垂直读数,斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后,同样的压差在玻璃管中显示的距离较大,读数的度较高。所以与 U 型压力计比较,斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示,斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性,它在 a 角较小时,微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化,都能从 l 值的变化灵敏的辨认,因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值,如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化,测定一个空间与其周围环境间的压差值,并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于,它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差;不同之处在于它不是依据机械方式,而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
洁净室照度检测步骤
(1)测量被测洁净室的长度和宽度,记录在原始记录纸上,并计算房间的面积;
(2)根据洁净室照度检测采样要求,进行布点,在每个测量