可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间
检验装置气密性
可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。
目前，对于外压容器及真空容器，通常以内压(液压或气压)进行压力试验，这类容器的主要失效形式是失稳，考核指标是容器的刚度，压力试验的结果是对容器强度及致密性的验证。而外压及真空容器在内压试验时的受力情况与实际操作具有一定的差别，实际操作时，在外压作用下其材料和焊缝中可能存在的缺陷趋于闭合状态，除某些缺陷(如穿透性针)在外压作用下可能渗透外，会产生低应力失效，而其外压稳定性主要取决于容器的形状尺寸及制造偏差，即外压容器的稳定性要通过设计及制造来保证。
氦气检漏仪触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
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