对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。对检漏方法的要求:能定位、定量,即不经能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的
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对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。对检漏方法的要求:能定位、定量,即不经能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。

对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;为了避免事故的发生,化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。
在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准。在真空设备漏情况的检查之中也有的仪器保证了检查效果的稳定性,而且这种氦质谱检漏仪系统中的的线路检测能力得到了更好的提升,。

氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;对检漏方法的要求:检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;反应时间短,可以提高工作效率;根据具体被检对象,所用方法简便易行,经济实用。氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;。

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