显影后执行硬烤(Hard Bake)工艺,即可形成光刻胶图案。在上述光刻工艺中,显影工艺通过溶解被曝光的光刻胶区域,形成了光刻胶图案。 但是,被曝光区域的光刻胶会由于溶解不充分而产生光刻胶残留缺陷,如出现类似于如图1 所示的sunflower缺陷或者光刻胶残留互连现象,影响后续的刻蚀或离子注入工艺,造成形成的半导体器件的稳定性下降,影响其电学性能。五金丝印曝光显影公司
显影问题
如果不能
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显影后执行硬烤(Hard Bake)工艺,即可形成光刻胶图案。在上述光刻工艺中,显影工艺通过溶解被曝光的光刻胶区域,形成了光刻胶图案。 但是,被曝光区域的光刻胶会由于溶解不充分而产生光刻胶残留缺陷,如出现类似于如图1 所示的sunflower缺陷或者光刻胶残留互连现象,影响后续的刻蚀或离子注入工艺,造成形成的半导体器件的稳定性下降,影响其电学性能。五金丝印曝光显影公司
显影问题
如果不能正确地控制显影工艺,图形传递的度就会出现问题,这些光刻胶的图形问题,如未能及时检出,传递到后续的刻蚀或者去胶工序中,就会对产品产生明显的不良影响。显影液中还会添加表面活性剂,用以减小表面张力,改善显影效果。
常见的显影问题有3类,分别是显影不足、不完全显影和过显影。从外观上看,显影不足的线条比正常线条要宽,并且侧面有斜坡;
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在手机、平板电脑及其他各种带视窗的玻璃镜片产品装饰面印刷上,除了使用传统的热固化油墨外,还大量使用到UV感光油墨。目前玻璃镜片领域现用的感光油墨曝光显影工艺,仍停留在2D平面产品上,使用的感光油墨曝光工艺生产流程为:1,印刷感光油墨;2,油墨表干;3,印刷遮敝图案;4,UV曝光;5,显影。随着3D曲面镜片的推广应用,五金丝印曝光显影公司

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