洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是俗称的1K级别。
洁净车间的棚顶和墙板(涵盖夹芯资料)必须是不焚烧体，且不行以运用有机复合资料。棚顶的耐火极限不行少于0.4小时，分散走道棚顶的耐火极限不行少于1小时。在一个防火区内的综合性工业厂房，其洁净出产区域与一般出产区域两者之间应规划为非焚烧体隔墙密封到顶。隔墙以及相关联的顶板其耐火极限不行少于1小时，墙面上的门窗耐火极限不行少于0.6小时。穿过隔墙或顶板的电缆电线其周围缝隙应运用非焚烧资料堵塞填充。
洁净车间地面装饰资料的焚烧功能应契合现行标准《修建内部装饰规划防火规范》GB50354的规则:甲、乙类洁净车间其洁净出产区应运用A型级别资料，同时应满足防火、防静电的特殊要求。丙、丁类洁净车间应运用不B2级的资料。技能竖井的壁面必须是非焚烧体，其耐火极限不行少于1小时。井壁上检查门的耐火极限不行少于0.6小时；竖井内涵各层或相隔一层楼板处,应运用等同于楼板耐火极限的非焚烧体做水平防火分隔，穿过水平防火分隔的电缆电线其周围缝隙，应运用非焚烧资料堵塞填充。
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