无尘室的用途分类
⑴、工业无尘室无尘室工程
——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。因此，IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1000pptm间。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学
万级无尘室
无尘室的用途分类
⑴、工业无尘室无尘室工程
——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。因此，IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1000pptm间。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
⑵、生物无尘室
主要控制有生命微粒（细1菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为； A、 一般生物无尘室，主要控制微生物（细1菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。要实现“活塞”的效果，高1效过滤器需要布满屋顶才可实现单向流的气流组织方式。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细1菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫1苗制备）
无尘室工程无尘室的构造主要有5个部分：
1、无尘室洁净度
无尘室的洁净度用洁净等级来表示，分别为10级、100级、1000级、10,000级、100,000级。数值越小则净化度越高，例如：100级高于 1000级、1000级高于10000级等。表面无缝涂装、无尘防霉、抗渗透、耐化学品、、易清洁维护、能满足贵公司的环境等要求。在不同级的无尘室中，1立方英尺体积中所含的粉尘数不同（指粒度> 0.3um的粉尘)。
以万级无尘室为例，其空气的洁净度比100级无尘室低100倍。洁净级别高的无尘室内空气压力也高。局部空气净化：仅使室内工作区域特定局部空间的空气含悬浮粒子浓度达到规定的空气洁净度级别，这种方式称局部空气净化。一旦打开不同级别间无尘室的门，空气会从洁净度高的室流向洁净度低的室，这样高洁净度的室不会被污染。尽管如此，还是应避免经常打开不同级别无尘室间的门。
2、无尘室的构造方式
气流方法
A)垂直气流型( Class 1～100 )
B)水平气流型 ( Class 100 )
C)乱流型 ( Class 1,000～100,000 )
D)混流型( Class 1,000～100,000 )
4、风机过滤器系统
FFU为低噪音、高1效率的除尘系统，能够方便的为无尘室提供高质量的过滤空气。
风机过滤单元系统
安装在无尘室天花板龙骨架上的直流FFU系统
5、无尘室的必要性
为了避免生产过程中出现污染和腐蚀，空气当中的细小微粒和微生物数量必须减到低，于是，无尘室技术现在成为了许多工业的基本要求。
无尘室设备用于微电子工业、半导体、精密机械、制药业、塑料制品和食品加工业等各个领域。
目前已推出的化学过滤器主要是：
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。
至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。13、给水管检查暗敷给水管道必须严格检查所有连接部位是否安装紧密、牢固，走向正确，再做水压试验，试水一段时间后方可隐埋。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
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