正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故
贝克真空泵维修
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。为保证真空泵叶片的使用寿命，需保证真空泵泵体内的真空泵油在正常的循环。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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真空机组将前级泵中的工作液改为油时，可以有效地提高罗茨真空机组的极限真空度（见参数表），罗茨油环机组为闭路循环系统，可减少污染，节约水源。罗茨油环真空机组广泛应用于真空浸渍、真空干燥、真空除气等工艺中。
真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。进口真空泵油使用清洁度方面的问题及应对方法：1、装油的窗口必须清洁干净，严禁在阳光下曝晒和露天存放，要存放在阴暗、干燥和通风场合严防水份和灰尘的混入。在选择真空机组时，一般需要真空机组的极限真空度要高于工作真空度半个到一个数量级以上才
