显影液是一种用水稀释的强碱溶液,早期的显影液为或的水溶液,但这两种溶液中都包含有金属,会造成可动离子沾污,对于污染很敏感的集成电路是不能接受的。目前普通的正胶显影液是(TMAH),这种显影液的金属离子浓度很低,从而避免了金属离子的污染。湿法显影。光刻胶早期湿法显影的方式是将一盒晶圆片浸没在显影液中并进行一定幅度的振荡,随着晶圆尺寸的逐渐增大,此方法已经不再适用。铭牌曝光显影生产厂商
显影问题
铭牌曝光显影生产厂商
显影液是一种用水稀释的强碱溶液,早期的显影液为或的水溶液,但这两种溶液中都包含有金属,会造成可动离子沾污,对于污染很敏感的集成电路是不能接受的。目前普通的正胶显影液是(TMAH),这种显影液的金属离子浓度很低,从而避免了金属离子的污染。湿法显影。光刻胶早期湿法显影的方式是将一盒晶圆片浸没在显影液中并进行一定幅度的振荡,随着晶圆尺寸的逐渐增大,此方法已经不再适用。铭牌曝光显影生产厂商

显影问题
如果不能正确地控制显影工艺,图形传递的度就会出现问题,这些光刻胶的图形问题,如未能及时检出,传递到后续的刻蚀或者去胶工序中,就会对产品产生明显的不良影响。显影液中还会添加表面活性剂,用以减小表面张力,改善显影效果。
常见的显影问题有3类,分别是显影不足、不完全显影和过显影。从外观上看,显影不足的线条比正常线条要宽,并且侧面有斜坡;
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曝光是利用光照将掩模版上的图形经过光学系统后投影到光刻胶上,实现图形转移,是集成电路制造中光刻工艺的重要工序之一。晶圆表面涂有光刻胶,掩模版上的图形被投影到光刻胶上之后,会激发化学反应,光刻胶经过前烘之后,原本为液态的光刻胶在硅片表面固化,这样就可以进行曝光。在未经曝光前,正性光刻胶中的感光剂DQ是不溶于显影液的,同时也会抑制酚醛树脂在显影液中的溶解。铭牌曝光显影生产厂商
感光防焊白油显影不尽怎么办
感光防焊白油一般需要的曝光能量都较高,平均曝光尺都要做到10格以上,而且有线路,表面并非元全平整,这些问题都考验着白油的制作,小编对这些异常,提出—些解决方案
分析1.
如果曝光时间加长、漏光和曝光过度,都会导致显影不尽。因此应该改善曝光机的抽真空程度,使底片与电路板贴合更紧密,同时应该选用曝光均匀度较好的曝光机,亮度较高的曝光系统及曝光能量合理的防焊白油。这样可以改善部分显影不尽问题。
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