在蒸馏过程中，油水分离器把植物和水一起熬煮，形成芳香水蒸气，冷凝之后获得精油和纯露。但是，这种蒸馏方式耗时长且缓慢，不适合萃取以酯类为主的植物，例如真实薰衣草、快乐鼠尾草等，防止酯类因为长时间加热而变成酸和醇。植物与水的比例为 1:5，蒸馏过程一般分为三个阶段，、二阶段长时间首先蒸馏出植物精油，然后在第三阶段的蒸馏中，加入前两个阶段所蒸馏出的纯露再继续蒸馏 2-3 小时，在此阶
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在蒸馏过程中，油水分离器把植物和水一起熬煮，形成芳香水蒸气，冷凝之后获得精油和纯露。但是，这种蒸馏方式耗时长且缓慢，不适合萃取以酯类为主的植物，例如真实薰衣草、快乐鼠尾草等，防止酯类因为长时间加热而变成酸和醇。植物与水的比例为 1:5，蒸馏过程一般分为三个阶段，、二阶段长时间首先蒸馏出植物精油，然后在第三阶段的蒸馏中，加入前两个阶段所蒸馏出的纯露再继续蒸馏 2-3 小时，在此阶段纯露因为再循环而成为了蒸馏的水源。
实际做法是先把植物放在密闭高压反应槽中，使用二氧化碳超临界流体萃取植物原料，就能带出芳香分子，再把压力降低让二氧化碳变回气体后自然消散在空气中，就可以获得几乎和植物本身几乎一样的成分。
该萃取法适用于对热敏感的花香（如茉莉），以及想获取大分子成分的植物（如），以及大部分芳香植物。
由于这种方法所需设备非常昂贵，消耗的能源也极大，因此萃取出来的精油，单价比蒸馏法高，但是萃取出的油量比溶剂法更多。因此在成本计算上，若是能有更大的销售市场，利用这种方法萃取精油应该可以将单价降至更低。
在空化发生时液体中的微小气泡核在高强度超声波作用下发生振荡、生长、收缩及崩溃等一系列动力学过程，同时在崩溃的极短时间内，在空化泡周围产生高温、高压，强烈冲击波和时速400kmh以上的微射流，对固体表面的剥离、凹蚀和粉碎作用创造了新的活性表面，这种界面效应使传质表面积增大。空化时产生的湍动效应使固液界面中传质边界层变薄，导致界面层中溶质的浓度梯度减少速度大大高于其他方法。
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