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气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

如何通过质量流量控制器判断没有气体通过？

质量流量控制器（MFC）是用来控制气体流量的，质量流量计（MFM）是用来测量气体流量，如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的，如果通过气体流量比较大，压比较大，可以为MFC设定一个大流量，MFC会反馈一个值，这个值就是气体的流量。 如果流量比较小，压力比较小MFC就不能测出来了，因为MFC压损通常是比较大的，如果气体流量比较小，压力比较小就没办法测量了，就需要抵压损的MFM。

通讯方式的热式气体质量流量控制器

在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

气体质量流量控制器的零点漂移？

微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的，但是如果是零点漂移较大或用户在使用时，对零点漂移的数值有疑问，那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体质量流量控制器和流量计会有零点漂移情况，零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但质量流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移，而且每次漂移差别很大，就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留，需要打开各种阀门，全部排空气体管路，防止设备或管路憋压。

一般造成质量流量计零点漂移的因素有许多，解决质量流量计零漂问题，首先要定期进行零点检查和调整，二是需要和工艺配合来解决。一般情况下，管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移，出现这种漂移时，要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀（流量控制器不能当做截止阀来使用），使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口，消除管道内的压力和气流，从而达到消除零点漂移。