洁净室检测对不同的对象，有不同的控制要求
⑴空气中悬浮微粒（非生物性及生物性）
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及：
⑴洁净室检测技术（工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室）：包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以
洁净室检测标准
洁净室检测对不同的对象，有不同的控制要求
⑴空气中悬浮微粒（非生物性及生物性）
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及：
⑴洁净室检测技术（工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室）：包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。
⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。
⑶有关玷污物的检测及监测。
洁净室（区）空气洁净度检测等级
（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65 %
（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：
（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜150lx。
（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。
洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。
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